Полевой эмиссионный сканирующий электронный микроскоп CIQTEK SEM5000Pro (FE-SEM)

CIQTEK SEM5000Pro — это сканирующий электронный микроскоп Шоттки с полевой эмиссией (FE-SEM), обеспечивающий высокое разрешение даже при низком напряжении возбуждения. Использование передовой технологии электронной оптики «Супертуннель» обеспечивает беспересеченный путь луча вместе с конструкцией линзы из электростатического и электромагнитного состава.

Эти достижения уменьшают эффект пространственного заряда, минимизируют аберрации линзы, повышают разрешение изображений при низком напряжении и достигают разрешения 1,2 нм при 1 кВ, что позволяет напрямую наблюдать непроводящие или полупроводниковые образцы, эффективно уменьшая количество образцов. радиационное повреждение.

Функции:

• Низкое напряжение, высокое разрешение
• Высокая стабильность
• Встроенный детектор электронов
• Зажим для замены образцов (совместимость с 8 дюймами)
• Отклонение электромагнитного луча с помощью многоточечной апертуры
• Отличная расширяемость

Технические характеристики:
Разрешение: 0,8 нм @ 15 кВ, SE, 1,2 нм @ 1,0 кВ, SE
Напряжение ускорения: 0,02 кВ ~ 30 кВ
Увеличение (Полароид): 1 ~ 2 500 000 x
Тип электронной пушки: Автоэмиссионная электронная пушка Шоттки
Камера: Двойные камеры (оптическая навигация + монитор камеры)
Диапазон ступеней: X: 110 мм, Y: 110 мм, Z: 50 мм, T: -10°ï½ +70°, R: 360°
Стандарт: Внутренний детектор электронов, Детектор Эверхарта-Торнли (ETD)
Операционная система: Windows
Навигация: Оптическая навигация, быстрая навигация с помощью жестов, трекбол (опция)
Автоматические функции: Автоматическая яркость и контрастность, автофокус, автоматический стигматор