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Feldemissions-rasterelektronenmikroskop CIQTEK SEM5000Pro (FE-SEM)
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Feldemissions-rasterelektronenmikroskop CIQTEK SEM5000Pro (FE-SEM)
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Das CIQTEK SEM5000Pro ist ein Feldemissions-Schottky-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM), das selbst bei niedriger Anregungsspannung eine hohe Auflösung bietet. Der Einsatz der fortschrittlichen Elektronenoptik-Technologie „Super Tunnel“ gewährleistet zusammen mit dem Linsendesign aus elektrostatischer und elektromagnetischer Verbindung einen ununterbrochenen Strahlengang.
Diese Vorteile reduzieren den Raumladungseffekt, minimieren Linsenaberrationen, verbessern die Bildauflösung bei niedriger Spannung und erreichen eine Auflösung von 1,2 nm bei 1 kV. Dies ermöglicht die direkte Beobachtung nichtleitender oder Halbleiterproben und reduziert so effektiv das Ausmaß von Strahlenschäden.
Merkmale:
- Niederspannung, hohe Auflösung
- Hohe Stabilität
- Eingebauter Elektronendetektor
- Probenwechselklemme (8-Zoll-kompatibel)
- Elektronische Strahlablenkung mit Mehrpunktblende
- Hervorragende Erweiterbarkeit
Technische Daten:
Auflösung: 0,8 nm bei 15 kV (SE), 1,2 nm bei 1,0 kV (SE)
Beschleunigungsspannung: 0,02 kV ~ 30 kV
Vergrößerung (Polaroid): 1- bis 2.500.000-fach
Elektronenstrahlerzeugertyp: Schottky-Feldemissions-Elektronenstrahlerzeuger
Kamera: Doppelkamera (optische Navigation + Kameramonitor)
Tischbereich: X: 110 mm, Y: 110 mm, Z: 50 mm, T: -10° ï½ +70°, R: 360°
Standard: Interner Elektronendetektor, Everhart-Thornley-Detektor (ETD)
Betriebssystem: Windows
Navigation: Optische Navigation, schnelle Gestennavigation Trackball (optional)
Automatische Funktionen: Automatische Helligkeit und Kontrast, Autofokus, automatischer Stigmator