CIQTEK SEM5000Pro - тіпті төмен қоздыру кернеуінде де жоғары ажыратымдылықты қамтамасыз ететін далалық эмиссиялық Schottky сканерлеуші электрондық микроскоп (FE-SEM). «Супер туннель» озық электронды оптика технологиясын пайдалану электростатикалық және электромагниттік құрамнан жасалған линзаның дизайнымен бірге сәуленің үзіліссіз жолын қамтамасыз етеді.
Бұл жетістіктер ғарыш зарядының әсерін азайтады, линзаның аберрациясын азайтады, төмен кернеуде бейнелеу ажыратымдылығын арттырады және 1 кВ-та 1,2 нм ажыратымдылыққа қол жеткізеді, бұл ток өткізбейтін немесе жартылай өткізгіш үлгілерді тікелей бақылауға мүмкіндік береді, радиациялық зақымдану мөлшерін тиімді азайтады.
Ерекше өзгешеліктері:
- Төмен кернеу, жоғары ажыратымдылық
- Жоғары тұрақтылық
- Кірістірілген электронды детектор
- Үлгі ауыстыру қысқышы (8 дюймдік үйлесімді)
- Көп нүктелі апертуралы электромагниттік сәуленің ауытқуы
- Керемет кеңейту мүмкіндігі
Техникалық сипаттамалар:
Ажыратымдылық: 0,8 нм @ 15 кВ, SE, 1,2 нм @ 1,0 кВ, SE
Жеделдету кернеуі: 0,02кВ ~ 30кВ
Үлкейту (полароид): 1 ~ 2 500 000 x
Электрондық зеңбіректің түрі: Шоттки өрісінің эмиссиялық электронды тапаншасы
Камера: қос камералар (оптикалық навигация + камера мониторы)
Кезең диапазоны: X: 110 мм, Y: 110 мм, Z: 50 мм, T: -10°ï½ +70°, R: 360°
Стандарт: Ішкі детектор электрондары, Эверхарт-Торнли детекторы (ETD)
Операциялық жүйе: Windows
Навигация: оптикалық навигация, қимылмен жылдам навигация, трекбол (қосымша)
Автоматты функциялар: Автоматты жарықтық пен контраст, автофокус, автоматты стигматор