Сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным лучом CIQTEK DB550 (FIB-SEM)

Сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным лучом CIQTEK DB550 (FIB-SEM) оснащен колонной сфокусированного ионного луча для наноанализа и подготовки образцов. Он использует технологию «супертуннельной» электронной оптики, низкую аберрацию и немагнитную конструкцию объектива, а также имеет функцию «низкого напряжения, высокого разрешения», обеспечивающую его наноразмерные аналитические возможности.

Ионные колонны позволяют использовать источник ионов жидкого металла Ga+ с высокостабильными и высококачественными ионными пучками, что обеспечивает возможности нанопроизводства. DB550 — это универсальная рабочая станция для наноанализа и производства со встроенным наноманипулятором, системой впрыска газа и удобным программным обеспечением с графическим пользовательским интерфейсом.

Функции:
Технология «Супертуннель» колонной электронной оптики/замедление луча внутри колонны
Уменьшение эффекта пространственной зарядки, обеспечение разрешения при низком напряжении.

Отсутствие пересечений на пути электронного луча
Эффективно уменьшайте аберрации объектива и улучшайте разрешение.

Электромагнитный и электростатический составной объектив
Уменьшите аберрации, значительно улучшите разрешение при низких напряжениях и обеспечьте возможность наблюдения магнитных образцов.

Объектив с постоянной температурой и водяным охлаждением
Обеспечить стабильность, надежность и повторяемость характеристик объектива.

Переменная система переключения апертуры с несколькими отверстиями за счет электромагнитного отклонения луча
Автоматическое переключение между апертурами без механического движения позволяет быстро переключаться между различными режимами визуализации.

Технические характеристики:
Колонка с фокусированным ионным пучком (FIB)
Разрешение: 3 нм при 30 кВ
Ток датчика: от 1 пА до 65 нА
Диапазон ускоряющего напряжения: от 0,5 до 30 кВ
Интервал замены источника ионов: ≥1000 часов
Стабильность: 72 часа непрерывной работы

Наноманипулятор
Камера внутреннего монтажа
Трехосный полностью пьезоэлектрический привод
Точность шагового двигателя ≤10 нм
Максимальная скорость перемещения 2 мм/с
Встроенная система управления

Совместная работа ионно-электронного пучка

Система впрыска газа
Единый проект КРУЭ
Доступны различные источники прекурсоров газа
Расстояние введения иглы ≥35 мм
Повторяемость движения ≤10 мкм
Повторяемость контроля температуры нагрева ≤0,1°C
Диапазон нагрева: от комнатной температуры до 90°C (194°F)
Встроенная система управления