Фокусталған иондық сәуле (FIB) бағандары бар өріс эмиссиялық сканерлеуші электрондық микроскоп (FE-SEM)
CIQTEK DB550 фокусталған иондық сәулелік сканерлеуші электрондық микроскоп (FIB-SEM) наноөлшемді талдау және үлгіні дайындау үшін бағытталған иондық сәулелік бағанмен жабдықталған. Ол «супер туннель» электронды оптика технологиясын, төмен аберрация және магнитті емес объективті линза дизайнын пайдаланады және оның наноөлшемді аналитикалық мүмкіндіктерін қамтамасыз ету үшін «төмен кернеу, жоғары ажыратымдылық» функциясы бар.
Иондық бағандар наноөлшемді өндіріс мүмкіндіктерін қамтамасыз ететін тұрақты және жоғары сапалы иондық сәулелері бар Ga+ сұйық метал ионының көзін пайдалануға мүмкіндік береді. DB550 — кірістірілген наноманипуляторы, газ айдау жүйесі және пайдаланушыға ыңғайлы графикалық интерфейс бағдарламалық құралы бар жан-жақты наноөлшемді талдау және өндіру жұмыс станциясы.
Функциялары:
Бағаналы электронды оптика «Супер туннель» технологиясы/баған ішіндегі сәулені тежеу
Кеңістіктік зарядтау әсерін азайтыңыз, төмен вольтты ажыратымдылықты қамтамасыз етіңіз.
Электрондық сәуленің жолында қиылысулар жоқ
Объективті линзаның аберрациясын тиімді азайтыңыз және ажыратымдылықты жақсартыңыз.
Электромагниттік және электростатикалық қосылыс мақсаты
Аберрацияны азайтыңыз, төмен вольтты ажыратымдылықты айтарлықтай жақсартыңыз және магниттік үлгілерді бақылауды қамтамасыз етіңіз.
Сумен салқындатылатын тұрақты температура объектісі
Объективті линза өнімділігінің тұрақтылығын, сенімділігін және қайталануын қамтамасыз етіңіз.
Электромагниттік сәуленің ауытқуы арқылы бірнеше саңылаулары бар ауыспалы саңылауларды ауыстыру жүйесі
Түрлі кескіндеу режимдері арасында жылдам ауысуға мүмкіндік беретін механикалық қозғалыссыз саңылаулар арасында автоматты ауысу.
Техникалық сипаттамалар:
Фокусталған иондық сәуле (FIB) бағаны
Ажыратымдылық: 30 кВ кезінде 3 нм
Датчик тогы: 1 рА - 65 нА
Жеделдету кернеуінің диапазоны: 0,5-тен 30 кВ-қа дейін
Ион көзін ауыстыру аралығы: ≥1000 сағат
Тұрақтылық: 72 сағат үздіксіз жұмыс
Наноманипулятор
Ішкі орнатылған камера
Үш осьті толық пьезоэлектрлік жетек
Қадамдық қозғалтқыштың дәлдігі ≤10 нм
Максималды қозғалыс жылдамдығы 2 мм/с
Кірістірілген басқару жүйесі
Иондық-электрондық сәулелік кооперация
Газ айдау жүйесі
Бірыңғай ГАЖ дизайны
Әртүрлі газ прекурсорлары бар
Инені енгізу қашықтығы ≥35 мм
Қозғалыс қайталануы ≤10 мкм
Жылыту температурасын реттеудің қайталануы ≤0,1°C
Жылыту диапазоны: бөлме температурасы 90°C (194°F) дейін
Кірістірілген басқару жүйесі