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Fokussiertes Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskop CIQTEK DB550 (FIB-SEM)
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Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM) mit fokussierten Ionenstrahlsäulen (FIB)
Das CIQTEK DB550 fokussierte Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskop (FIB-REM) ist mit einer fokussierten Ionenstrahlsäule für die Nanoanalyse und Probenvorbereitung ausgestattet. Es nutzt die Technologie der „Supertunnel“-Elektronenoptik, ein Design mit geringer Aberration und nichtmagnetischem Linsendesign und bietet dank der Funktion „Niedrigspannung, hohe Auflösung“ analytische Möglichkeiten im Nanobereich.
Ionensäulen ermöglichen die Nutzung einer Flüssigmetallionenquelle (Ga+) mit hochstabilen und hochwertigen Ionenstrahlen, was die Nanoproduktion ermöglicht. Das DB550 ist eine universelle Workstation für die Nanoanalyse und -produktion mit integriertem Nanomanipulator, Gasinjektionssystem und komfortabler Software mit grafischer Benutzeroberfläche.
Funktion:
Technologie der „Supertunnel“-Säulenelektronenoptik/Strahlverzögerung innerhalb der Säule
Reduziert den Effekt der räumlichen Aufladung und ermöglicht Auflösung bei niedriger Spannung.
Keine Überschneidungen im Elektronenstrahlverlauf
Reduziert effektiv Linsenaberrationen und verbessert die Auflösung.
Elektromagnetische und elektrostatische Verbundlinse
Reduziert Aberrationen, verbessert die Auflösung bei niedrigen Spannungen deutlich und ermöglicht die Beobachtung magnetischer Proben.
Objektiv mit konstanter Temperatur und Wasserkühlung
Sorgt für Stabilität, Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit der Linseneigenschaften.
Variables Blendenschaltsystem mit mehreren Öffnungen durch elektromagnetische Strahlablenkung
Automatisches Umschalten zwischen Blenden ohne mechanische Bewegung ermöglicht schnellen Wechsel zwischen verschiedenen Visualisierungsmodi.
Technische Merkmale:
Fokussierte Ionenstrahlsäule (FIB)
Auflösung: 3 nm bei 30 kV
Stromsensor: von 1 pA bis 65 nA
Beschleunigungsspannungsbereich: von 0,5 bis 30 kV
Austauschintervall der Ionenquelle: ≥ 1000 Stunden
Stabilität: 72 Stunden Dauerbetrieb
Nanomanipulator
Integrierte Kamera
Dreiachsiger, vollpiezoelektrischer Antrieb
Genauigkeit des Schrittmotors: ≤ 10 nm
Maximale Bewegungsgeschwindigkeit: 2 mm/s
Integriertes Steuerungssystem
Zusammenarbeit des Ionen-Elektronen-Strahls
Gasinjektionssystem
Vereinheitlichtes KRUE-Projekt
Verschiedene Gasvorläuferquellen verfügbar
Abstand der Injektionsnadel: ≥ 35 mm
Wiederholgenauigkeit der Bewegung: ≤ 10 μm
Wiederholgenauigkeit der Heiztemperaturregelung ≤0,1 °C
Heizbereich: von Raumtemperatur bis 90 °C (194 °F)
Integriertes Steuerungssystem