Полевой эмиссионный сканирующий электронный микроскоп сверхвысокого разрешения CIQTEK SEM5000X (FE-SEM)

CIQTEK SEM5000X — это полевой эмиссионный сканирующий электронный микроскоп сверхвысокого разрешения с оптимизированной конструкцией электронно-оптической колонны, снижающей общие аберрации на 30 % и обеспечивающей сверхвысокое разрешение 0,6 нм при 15 кВ и 1,0 нм при 1 кВ. . Его высокое разрешение и стабильность делают его выгодным для передовых исследований наноструктурных материалов, а также для разработки и производства высокотехнологичных узловых полупроводниковых микросхем.

Обновление объектива
Хроматическая аберрация объектива была уменьшена на 12%, сферическая аберрация линзы уменьшена на 20%, а общая аберрация уменьшена на 30%.

Технология двухлучевого замедления
Замедление луча внутри линзы, применимо к образцам большого объема, поперечного сечения и неровных поверхностей. Технология двойного замедления (торможение луча внутри линзы + тандемное торможение луча на предметном столике) бросает вызов ограничениям сценариев захвата сигнала с поверхности образца.

Технические характеристики:
Разрешение: 0,6 нм при 15 кВ, SE. 1,0 нм при 1 кВ, SE
Напряжение ускорения: 0,02 кВ ~30 кВ
Увеличение: 1 ~ 2 500 000 x
Тип электронной пушки: Автоэмиссионная электронная пушка Шоттки
Камеры: Двойные камеры (оптическая навигация + монитор камеры)
Тип сцены: 5-осевой механический эвцентрический столик для образцов
Диапазон ступеней: X=110 мм, Y=110 мм, Z=65 мм, T: -10*~+70°, R: 360°
Стандарт: Внутренний детектор, Детектор Эверхарта-Торнли (ETD)
Операционная система: Windows
Навигация: Оптическая навигация, быстрая навигация с помощью жестов, трекбол (опция)
Автоматические функции: Автоматическая яркость и контрастность, автофокус, автоматический стигматор