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Superauflösendes feldemissions-rasterelektronenmikroskop CIQTEK SEM5000X (FE-SEM)
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Das CIQTEK SEM5000X ist ein hochauflösendes Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit optimiertem elektronenoptischem Säulendesign. Es reduziert die Gesamtaberration um 30 % und erreicht eine Superauflösung von 0,6 nm bei 15 kV und 1,0 nm bei 1 kV. Seine hohe Auflösung und Stabilität machen es ideal für die Forschung an fortschrittlichen nanostrukturierten Materialien sowie die Entwicklung und Produktion von Hightech-Halbleiterchips.
Objektiv-Upgrade
Die chromatische Aberration des Objektivs wurde um 12 %, die sphärische Aberration der Linse um 20 % und die Gesamtaberration um 30 % reduziert.
Doppelstrahlverzögerungstechnologie
Die Strahlverzögerung im Objektiv ist für großvolumige, querschnittsförmige und unebene Proben geeignet. Die duale Verzögerungstechnologie (Strahlverzögerung im Objektiv + Strahlverzögerung im Tandem) überwindet die Einschränkungen bei der Signalerfassung von Probenoberflächen.
Technische Daten:
Auflösung: 0,6 nm bei 15 kV, SE. 1,0 nm bei 1 kV, SE
Beschleunigungsspannung: 0,02 kV ~ 30 kV
Vergrößerung: 1- bis 2.500.000-fach
Elektronenstrahlerzeugertyp: Schottky-Feldemissions-Elektronenstrahlerzeuger
Kameras: Doppelkameras (optische Navigation + Kamera-Monitor)
Tischtyp: 5-achsiger mechanischer euzentrischer Probentisch
Tischbereich: X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm, T: -10°~+70°, R: 360°
Standard: Interner Detektor, Everhart-Thornley-Detektor (ETD)
Betriebssystem: Windows
Navigation: Optische Navigation, Gestennavigation, Trackball (optional)
Automatische Funktionen: Automatische Helligkeits- und Kontrastregelung, Autofokus, automatischer Stigmator