


Функции:
Технические характеристики:
Разрешение: Высокий вакуум - 0,9 нм @ 30 кВ, SE, Низкий вакуум - 2,5 нм при 30 кВ, BSE, 30 Па, 1,5 нм при 30 кВ, SE, 30 Па
Напряжение ускорения: 0,2 кВ ~ 30 кВ
Увеличение (Полароид): 1 ~ 1 000 000 x
Тип электронной пушки: Автоэмиссионная электронная пушка Шоттки
Низкий вакуум: Макс. 180 Па
Камера: Двойные камеры (оптическая навигация + мониторинг камеры)
Диапазон XY: 110 мм
Диапазон Z: 65 мм
Диапазон Т: -10° ~ +70°
Диапазон R: 360°
Стандарт: Детектор Эверхарта-Торнли (ETD), Детектор низкого вакуума (LVD), Детектор обратных электронов (BSED)
Операционная система: Windows
Навигация: Оптическая навигация, быстрая навигация с помощью жестов, трекбол (опция)
Автоматические функции: Автоматическая яркость и контрастность, автофокус, автоматический стигматор