CIQTEK SEM4000Pro – жарықтығы жоғары және ұзақ мерзімді өрісті сәулелену Schottky электронды пистолеттімен жабдықталған аналитикалық FE-SEM үлгісі. Үш сатылы электромагниттік линзаның дизайны EDS/EDX, EBSD, WDS және т.б. сияқты аналитикалық қолданбаларда маңызды артықшылықтар береді. Ол төмен вакуум режимі және жоғары өнімділігі төмен вакуумды қайталама электрон детекторымен, сондай-ақ нашар өткізгіш немесе өткізбейтін үлгілерді бақылауды жеңілдететін тартылатын кері шашыраған электронды детектормен стандартты түрде жеткізіледі. Ерекше өзгешеліктері:
Төмен вакуум режимі
- Жоғары ажыратымдылық (0,9 нм @ 30 кВ)
- Тамаша кеңейту мүмкіндігі
- Үлгі ауыстыру қысқышы (8 дюймдік экрандармен үйлесімді)
- Үш сатылы электромагниттік линза
- Механикалық эвцентрлік кезең
Техникалық сипаттамалар:
Ажыратымдылық: Жоғары вакуум - 0,9 нм @ 30 кВ, SE, Төмен вакуум - 2,5 нм @ 30 кВ, BSE, 30 Па, 1,5 нм @ 30 кВ, SE, 30 Па
Жеделдету кернеуі: 0,2 кВ ~ 30 кВ
Үлкейту (полароид): 1 ~ 1 000 000 x
Электрондық зеңбіректің түрі: Шоттки өрісінің эмиссиялық электронды тапаншасы
Төмен вакуум: макс. 180 Па
Камера: қос камералар (оптикалық навигация + камераны бақылау)
XY диапазоны: 110 мм
Z диапазоны: 65 мм
T диапазоны: -10° ~ +70°
R диапазоны: 360°
Стандартты: Эверхарт-Торнли детекторы (ETD), төмен вакуумдық детектор (LVD), кері электронды детектор (BSED)
Операциялық жүйе: Windows
Навигация: оптикалық навигация, жылдам қимылмен навигация, трекбол (қосымша)
Автоматты функциялар: Автоматты жарықтық пен контраст, автофокус, автоматты стигматор