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Hochgeschwindigkeits-Rasterelektronenmikroskop CIQTEK HEM6000 (SEM)
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Hochgeschwindigkeits-Rasterelektronenmikroskop für großvolumige Querschnittsaufnahmen
Das CIQTEK HEM6000 ist mit Technologien wie einer Hochstrom-Elektronenkanone mit hoher Helligkeit, einem Hochgeschwindigkeits-Elektronenstrahlablenksystem, einer Hochspannungs-Probentischverzögerung, einer dynamischen optischen Achse und einem kombinierten elektromagnetischen und elektrostatischen Immersionsobjektiv ausgestattet, um Hochgeschwindigkeitsaufnahmen mit Nanoauflösung zu ermöglichen.
Der automatisierte Workflow ist für Anwendungen wie einen effizienteren und intelligenteren Workflow für großflächige hochauflösende Aufnahmen konzipiert. Die Bildgebungsgeschwindigkeit kann mehr als fünfmal schneller sein als bei einem herkömmlichen Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM).
Funktionen:
Hochgeschwindigkeits-Scanning-Treiber
10 ns/Pixel Verweilzeit, maximale Bildgebungsgeschwindigkeit von 2 x 100 Megapixeln/s
Elektronisches Signalfiltersystem
SE/BSE-Umschaltung ohne Signal, Mischung mit einstellbarem Verhältnis
Vollelektrostatisches Hochgeschwindigkeits-Strahlablenkungssystem
Großfeldabbildung mit hoher Auflösung, maximales Sichtfeld bis zu 64 μm x 64 μm bei 4 nm pro Pixel
Slow-Down-Technologie
Reduziert die Landespannung einfallender Elektronen und erhöht so die Elektroneneinfangeffizienz des Signals.
Elektromagnetisches und elektrostatisches kombiniertes Strahlablenkungssystem des Immersionsobjektivs
Das Magnetfeld des Objektivs taucht die Probe ein und ermöglicht so eine aberrationsarme, hochauflösende Abbildung.